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上海集成电路配备资料工业立异中心获得一种晶圆清洗设备专利进步晶圆清洗作用
日期：2025-04-20 | 作者: ub8优游客户端官网
金融界2025年2月14日音讯，国家知识产权局信息数据显现，上海集成电路配备资料工业立异中心有限公司获得一项名为“一种晶圆清洗设备”的专利，授权公告号CN 222469878 U，请求日期为2024年3月。
专利摘要显现，本实用新型供给了一种晶圆清洗设备，包含清洗组织、滚动组织和测速器；所述滚动组织用于设备晶圆并可带动所述晶圆滚动，且所述晶圆的边际具有缺口；所述清洗组织设于所述滚动组织的两边，用于对所述晶圆的正面和反面进行整理洗刷；所述测速器接近所述滚动组织设置，且所述测速器对应所述晶圆的边际，用于检测所述缺口的方位以获取所述晶圆的转速。在本实用新型供给的晶圆清洗设备经过在滚动组织的邻近设置测速器用于检测晶圆的转速，以进步晶圆在清洗时其转速检测的准确性，来确保了工作人员判别晶圆整理洗刷作用的准确性，以便工作人员及时的调整晶圆清洗时的最佳转速，进步晶圆的清洗作用。
天眼查资料显现，上海集成电路配备资料工业立异中心有限公司，成立于2020年，坐落上海市，是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本1150000万人民币。经过天眼查大数据分析，上海集成电路配备资料工业立异中心有限公司参加招投标项目64次，知识产权方面有商标信息14条，专利信息411条，此外企业还具有行政许可201个。
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